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低介電常數 聚亞醯胺膜 化學機械研磨 Polyimide Chemical-mechanical polishing CMP 國家圖書館 19991100 期刊論文 蔡明蒔 戴寶通 低介電常數聚亞醯.....more
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一種可實際應用半導體化學機械研...
化學機械研磨 二氧化鈰 聚亞芳香醚 奈米級超微細粉末 Chemical mechanical polishing CMP 國家圖書館 20000100 期刊論文 施文塵 劉如熹 黎源欣 邱建華 蔡明.....more
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CMOS揮發性記憶體製程技術簡介
SRAM Chemical mechanical polishing CMP Thin film transistor TFT Soft error 國家圖書館 19971200 期刊論文 王念民.....more
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Method for Analyzing Effective...
Chemical mechanical polishing CMP Compensation Image Binary 化學機械研磨 晶圓 國家圖書館 20051200 期刊論文 林榮慶(Lin.....more
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砷化鎵高速元件積體電路之金屬鑲...
砷化鎵基材 金屬銅鑲嵌技術 化學機械研磨 GaAs Copper damascene Chemical mechanical polishing CMP 國家圖書館 20050800 期刊論文 賴仁.....more
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A Process Parameters Determina...
CMP 螞蟻群聚最佳化 類神經網路 資料挖掘 化學機械研磨製程 國家圖書館 20050700 期刊論文 蘇純繒(Su， Chwen-tzeng) 翁瑞聰(Wong， Jui-tsung) 鄒尚.....more
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Corrosion Investigation of Dia...
腐蝕 化學機械拋光 鑽石修整器 Corrosion CMP Diamond disk conditioner 國家圖書館 20060600 期刊論文 譚安宏(Tan， A. H.) 鄭穎駿.....more
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動態隨機存取記憶體製程技術趨勢
polishing CMP Self-aligned silicide Salicide Silicon on insulator SOI Shallow trench isolation STI 國家圖書館.....more
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化學機械研磨液(CMP)混合污泥再...
-hua) 李宗勳(Li， Zong-syun) 化學機械研磨液(CMP)混合污泥再生利用於水泥砂漿之探討 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊:聯大學報 卷期:5:2(下) 2008.12[民97.12] 頁次.....more
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CMP固定磨粒拋光墊特性與性能表...
化學機械拋光 全域平坦化 固定磨粒拋光墊 晶圓內部不均勻度 晶片內部不均勻度 Chemical mechanical polishing CMP Global planarization Fixed.....more
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製備奈米級Fe[feb0]O[feb2]顆粒...
CMP wastewater 國家圖書館 20050600 期刊論文 秦靜如(Chin， Monica Ching-ju) 陳珮紋(Chen， Pei-wen) 王立仁(Wang， Li-je.....more
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