CMOS揮發性記憶體製程技術簡介
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- 資料識別：
- A97028560
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王念民
- 主題與關鍵字：
- 動態隨機存取記憶體 靜態隨機存取記憶體 化學機械研磨 薄膜電晶體 軟錯記 Dynamic random access memory DRAM Static random access memory SRAM Chemical mechanical polishing CMP Thin film transistor TFT Soft error
- 描述：
- 來源期刊:電子技術
- 卷期:141 民86.12
- 頁次:頁184-190
- 日期：
- 19971200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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