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高能量加工技術應用與分析
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添加聚乙二醇促進電化學平坦化鍍...
電化學拋光 銅製程 平坦化 極化曲線 聚乙二醇 Electrochemical polishing Copper metallization Planarization Polarization.....more
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具高低研磨面晶圓之化學機械研磨...
化學機械研磨 具高低研磨面晶圓 研磨時間 CMP Patterned wafer Polishing time 國家圖書館 19991000 期刊論文 張美雲(Chang， Mei-yun) 陳柏廷.....more
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低介電常數聚亞醯胺膜之化學機械...
低介電常數 聚亞醯胺膜 化學機械研磨 Polyimide Chemical-mechanical polishing CMP 國家圖書館 19991100 期刊論文 蔡明蒔 戴寶通 低介電常數聚亞醯.....more
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一種可實際應用半導體化學機械研...
化學機械研磨 二氧化鈰 聚亞芳香醚 奈米級超微細粉末 Chemical mechanical polishing CMP 國家圖書館 20000100 期刊論文 施文塵 劉如熹 黎源欣 邱建華 蔡明.....more
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積體電路製程技術趨勢
by implanted oxygen Rapid thermal processing Spin on glass Chemical mechanical polishing 國家圖書館.....more
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CMOS揮發性記憶體製程技術簡介
SRAM Chemical mechanical polishing CMP Thin film transistor TFT Soft error 國家圖書館 19971200 期刊論文 王念民.....more
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矽材質化學機械研磨製程之研究
化學機械研磨 矽晶 Chemical mechanical polishing Silicon 國家圖書館 19990500 期刊論文 貢中元(Kung， C. Y.) 戴寶通(Dai， B. T.....more
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批次拋光對工件精度及平坦度的影...
批次拋光 研磨墊 Batch mode polishing Abrasive pad 國家圖書館 20050900 期刊論文 王阿成 梁國柱 劉春和 翁世宏 廖茂松 批次拋光對工件精度及平坦度的影響.....more
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砷化鎵高速元件積體電路之金屬鑲...
砷化鎵基材 金屬銅鑲嵌技術 化學機械研磨 GaAs Copper damascene Chemical mechanical polishing CMP 國家圖書館 20050800 期刊論文 賴仁.....more
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A Process Parameters Determina...
Ant colony optimization ACO Artificial neural network ANN Data mining Chemical machine polishing.....more
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Corrosion Investigation of Dia...
Disk Conditioner in the Slurry of Chemical Mechanical Polishing 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊:防蝕工程 卷期:20:2 民95.06 頁次.....more
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建立化學機械研磨製程之接觸有限...
化學機械研磨 二維軸對稱準靜態接觸有限元素模式 Chemical mechanical polishing 2-D axisymmetric quasic-static contact finite.....more
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化學機械研磨製程晶圓承載器最適...
化學機械研磨 晶圓承載器表面形狀 偶合模式 Chemical mechanical polishing Carrier's morphology Coupled model 國家圖書館.....more
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