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批次拋光對工件精度及平坦度的影...
批次拋光 研磨墊 Batch mode polishing Abrasive pad 國家圖書館 20050900 期刊論文 王阿成 梁國柱 劉春和 翁世宏 廖茂松 批次拋光對工件精度及平坦度的影響.....more
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砷化鎵高速元件積體電路之金屬鑲...
砷化鎵基材 金屬銅鑲嵌技術 化學機械研磨 GaAs Copper damascene Chemical mechanical polishing CMP 國家圖書館 20050800 期刊論文 賴仁.....more
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A Process Parameters Determina...
Ant colony optimization ACO Artificial neural network ANN Data mining Chemical machine polishing.....more
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Corrosion Investigation of Dia...
Disk Conditioner in the Slurry of Chemical Mechanical Polishing 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊:防蝕工程 卷期:20:2 民95.06 頁次.....more
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建立化學機械研磨製程之接觸有限...
化學機械研磨 二維軸對稱準靜態接觸有限元素模式 Chemical mechanical polishing 2-D axisymmetric quasic-static contact finite.....more
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化學機械研磨製程晶圓承載器最適...
化學機械研磨 晶圓承載器表面形狀 偶合模式 Chemical mechanical polishing Carrier's morphology Coupled model 國家圖書館.....more
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以電混凝法去除模擬化學機械研磨...
化學機械研磨 電混凝 濁度 廢液 Chemical mechanical polishing Electrocoagulation Turbidity Wastewater 國家圖書館.....more
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動態隨機存取記憶體製程技術趨勢
polishing CMP Self-aligned silicide Salicide Silicon on insulator SOI Shallow trench isolation STI 國家圖.....more
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化學機械研磨液(CMP)混合污泥再...
CMP混合污泥 水泥砂漿 卜作嵐反應 Chemical mechanical polishing Cement mortar Compressive strength Pozzolanic.....more
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車禍現場中熱熔型標線漆鑑識方法...
Polishing 國家圖書館 20110300 期刊論文 陳祺(Chen， Chi) 高培邦(Kao， Pei-pang) 蔣政勳(Chiang， Cheng-hsun) 張維敦(Chang， Wei.....more
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半導體產業CMP混合污泥資源再用...
CMP混合污泥 混凝土圓柱試體 抗壓強度 奈米顆粒 卜作嵐反應 Chemical mechanical polishing Cylindrical concrete specimen.....more
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鑽石輪磨及機械化學拋光複合製程...
polishing MCP 國家圖書館 20040500 期刊論文 許厲生 古振瑭 陳炤彰 黃姿瑞 柳南煌 謝榮哲 鑽石輪磨及機械化學拋光複合製程應用於藍寶石晶圓薄化加工 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊.....more
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CMP污泥與垃圾焚化混合灰共融熔...
垃圾焚化混合灰 CMP污泥 水泥砂漿 抗壓強度 卜作嵐反應 MSWI fly-ash Scrubber-ash Chemical mechanical polishing Cement mortar.....more
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鈮酸鋰複合晶圓延性製程技術開發
mechanical polishing 國家圖書館 20060300 期刊論文 吳嘉城(Wu， C. C.) 陳采寧(Chen， T. N.) 洪瑞華(Horng， R. H.) 何世賢(Ho， S. S.) 丁嘉仁.....more
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CMP固定磨粒拋光墊特性與性能表...
化學機械拋光 全域平坦化 固定磨粒拋光墊 晶圓內部不均勻度 晶片內部不均勻度 Chemical mechanical polishing CMP Global planarization Fixed.....more
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