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銅/鉭金屬化學--機械拋光過程中...
銅 鉭 化學-機械拋光 伽凡尼腐蝕 CMP Chemical-mechanical polishing Copper Tantalum Galvanic corrosion 國家圖書館.....more
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銅在化學-機械拋光電解液中之電...
銅 電化學行為 雙氧水 化學-機械拋光 Copper Electrochemical behavior Hydrogen peroxide Chemical-mechanical polishing.....more
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淺溝渠元件隔離技術現況與挑戰
淺溝渠隔離技術 固定式砥粒研磨 化學機械研磨 高選擇比研漿 Shallow trench isolation Fixed abrasive polishing Direct CMP High.....more
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熱化學拋光CVD鑽石薄膜的製程研...
化學氣相沉積鑽石薄膜 熱化學拋光法 Chemical vapor deposition diamond films or CVDD Thermo-chemical polishing 國家圖書館.....more
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電解拋光技術於半導體製程上的應...
電解拋光技術 半導體製程 無應力拋光 生醫材料 Electropolishing Semiconductor process Stress free polishing Bio-material 國.....more
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Sol-gel Synthesis and Characte...
奈米粉末 釔摻雜氧化鋯 溶膠-凝膠法 化學機械研磨 Nanopowder Yttrium-doped zirconia Sol-gel Chemical mechanical polishing 國.....more
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高能量加工技術應用與分析
電子束加工 拋光 電腦數值控制器 微放電加工 Electron beam machining Polishing Computerize numerical controller Micro.....more
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添加聚乙二醇促進電化學平坦化鍍...
電化學拋光 銅製程 平坦化 極化曲線 聚乙二醇 Electrochemical polishing Copper metallization Planarization Polarization.....more
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臺中電廠選擇性還原脫硝觸媒再生...
觸媒再生 脫硝 清洗 補塗 磨光 Catalyst regenration Denitrification Washing Recoating Polishing 國家圖書館 20060400 期刊.....more
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具高低研磨面晶圓之化學機械研磨...
化學機械研磨 具高低研磨面晶圓 研磨時間 CMP Patterned wafer Polishing time 國家圖書館 19991000 期刊論文 張美雲(Chang， Mei-yun) 陳柏廷.....more
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低介電常數聚亞醯胺膜之化學機械...
低介電常數 聚亞醯胺膜 化學機械研磨 Polyimide Chemical-mechanical polishing CMP 國家圖書館 19991100 期刊論文 蔡明蒔 戴寶通 低介電常數聚亞醯.....more
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一種可實際應用半導體化學機械研...
化學機械研磨 二氧化鈰 聚亞芳香醚 奈米級超微細粉末 Chemical mechanical polishing CMP 國家圖書館 20000100 期刊論文 施文塵 劉如熹 黎源欣 邱建華 蔡明.....more
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積體電路製程技術趨勢
by implanted oxygen Rapid thermal processing Spin on glass Chemical mechanical polishing 國家圖書館.....more
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CMOS揮發性記憶體製程技術簡介
SRAM Chemical mechanical polishing CMP Thin film transistor TFT Soft error 國家圖書館 19971200 期刊論文 王念民.....more
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矽材質化學機械研磨製程之研究
化學機械研磨 矽晶 Chemical mechanical polishing Silicon 國家圖書館 19990500 期刊論文 貢中元(Kung， C. Y.) 戴寶通(Dai， B. T.....more
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