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環形刀具均勻化拋光之研究

polishing 國家圖書館 20110900 期刊論文 王述宜 環形刀具均勻化拋光之研究 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊:機械工業 卷期:342 2011.09[民100.09] 頁次:頁89-101.....more

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CMP佈局平坦化的階層式密度分析...

晶片佈局密度分析 平坦化 CMP平坦化技術 Layout density analysis Planarization Chemical-mechanical polishing 國家圖書館.....more

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以純銅進行電解拋光平坦化之研究

電解拋光 銅 平坦化 電解液 Electrolytic polishing Copper material Planarization Electrolyte 國家圖書館 20100700 期刊論文.....more

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微放電複合製程之精微拋光技術開...

微放電加工 精微拋光 複合製程 Micro-EDM Precise polishing Hybrid process 國家圖書館 20100400 期刊論文 楊程光 洪榮洲 顏炳華 微放電複合製程之.....more

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不?鋼電解拋光之最佳化參數設計

電解拋光 田口式品質工程 變異數分析 直交表 表面粗糙度 Electro-polishing EP Taguchi methods ANOVA Orthogonal arrays OA.....more

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表面聲波濾波器發展現況及未來機...

 Polishing 國家圖書館 20020800 期刊論文 吳志宏 程智勇 蔡宏營 表面聲波濾波器發展現況及未來機會 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊:機械工業 卷期:233 民91.08 頁次:頁82-8.....more

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研磨液組成及機械變數對鋁化學-...

鋁 化學機械拋光法 電化學 Aluminum Chemical mechanical polishing CMP Electrochemistry 國家圖書館 20021200 期刊論文 林義雄.....more

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化學機械研磨製程對摻氟二氧化矽...

化學機械研磨 摻氟二氧化矽 水氣吸附 Chemical mechanical polishing Fluorine-doped silicon dioxide Moisture absorption.....more

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銅金屬與低介電常數材料與製程

 Chemical mechanical polishing Spin-on glass SOG 國家圖書館 20001100 期刊論文 楊正杰 張鼎張 鄭晃忠 銅金屬與低介電常數材料與製程 臺灣期刊論文索引系統.....more

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Properties and Chemical-Mechan...

-Mechanical Polishing Characteristics of Low Dielectric Constant Polymer Films: PAE-2 and Flare 2.0 臺灣期刊論文索.....more

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於奈米氧化鋁研磨液中添加界面活...

奈米氧化鋁研磨液 界面活性劑 化學機械研磨 Chemical mechanical polishing Nano-alumina slurry Surfactant 國家圖書館 20040300 期.....more

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電解拋光技術於半導體製程上的應...

電解拋光技術 半導體製程 無應力拋光 生醫材料 Electropolishing Semiconductor process Stress free polishing Bio-material 國.....more

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CVD鑽石薄膜平坦化技術--熱化學...

polishing 國家圖書館 20040500 期刊論文 邱思齊 王興民 CVD鑽石薄膜平坦化技術--熱化學拋光法製程研究 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊:機械工業 卷期:254 民93.05 頁次:頁.....more

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非接觸式拋光矽晶片之研究

非接觸式拋光 矽晶圓 加工間距 移除率 表面粗糙度 Non-contact polishing Si wafer Gap Material removal rate Surface.....more

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化學機械研磨中鑽石修整器磨耗之...

化學機械研磨 鑽石修整器 隆起率 Chemical mechanical polishing CMP Diamond conditioner Uphill ratio 國家圖書館 20040500.....more

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