研磨液組成及機械變數對鋁化學-機械拋光製程中電化學性質影響之研究
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- 資料識別：
- A02041178
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林義雄(Lin， Yi-hsiung) 陳瑞琴(Chen， Jui-chin) 蔡文達(Tsai， Wen-ta)
- 主題與關鍵字：
- 鋁 化學機械拋光法 電化學 Aluminum Chemical mechanical polishing CMP Electrochemistry
- 描述：
- 來源期刊:防蝕工程
- 卷期:16:4 民91.12
- 頁次:頁271-280
- 日期：
- 20021200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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