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EUV微影(EUV lithography)
微影 曝光機 EUV 國家圖書館 20110600 期刊論文 田中裕之 須賀治 EUV微影(EUV lithography) 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊:電子月刊 卷期:17:6=191.....more
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極紫外光(EUV)微影光阻發展現況
極紫外光 微影技術 光阻 Extreme ultraviolet EUV Lithography Photoresist 國家圖書館 20080900 期刊論文 鄭秀英 極紫外光(EUV)微影光阻發.....more
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次世代微影技術發展現況雙重曝影...
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極紫外光微影技術簡介
極紫外光微影技術 深次奈米微影技術 極紫外光 EUV 國家圖書館 20100300 期刊論文 施錫龍 丁永強 戴寶通 極紫外光微影技術簡介 臺灣期刊論文索引系統 來源期刊:電子月刊 卷期:16:3.....more
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65奈米電子世代下193奈米微影最...
微影製程 IC製造 193奈米微影濕浸式技術 157奈米微影 極短紫外光微影 投影式電子束微影技術 Liquid immersion Extreme ultraviolet EUV Electron.....more
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用於次25奈米極紫外光曝光機之新...
相位移光罩 解析度增益技術 極紫外光微影術 EUV 國家圖書館 20051000 期刊論文 陳學禮(Chen， Hsuen-li) 鄭旭君(Cheng， Hsu-chun) 洪鶯玲(Hong.....more
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IC光阻材料技術發展
ultra violet DUV Vacuum ultra violet VUV Extreme ultra violet EUV DNQ Novolak Chemical amplified CA.....more
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簡介下世代微影技術與奈米轉印微...
-beam lithography EUV Exterme ultravilolent lithography NIL Nanoimprint lithography Step and flash.....more
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