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淺談電漿蝕刻對低溫複晶矽薄膜電...
低溫複晶矽薄膜電晶體 乾式蝕刻 電漿製程傷害 可靠度 Low temperature poly-silicon TFT LTPS TFT Dry etch Plasma process.....more
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Development of an Eco-Industri...
and environmental benefits Hierarchical system Green silicon island 國家圖書館 20031200 期刊論文 胡憲倫(Hu， Allen H.) 鍾啟賢.....more
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中鋼發展非鋼鐵關聯性新事業的經...
矽晶圓 合資公司 中德公司 Silicon wafer Joint venture company Taisil 國家圖書館 20010400 期刊論文 李慶超(Lee， Steve) 中鋼發展非鋼.....more
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Temperature Uniformity in Rapi...
十二吋矽晶圓 逆向模式 快速熱製程 溫度均勻性 12-in silicon wafer Inverse modeling Rapid thermal processing Temperature.....more
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轉爐以雙渣法吹煉高矽鐵水之技術...
高矽鐵水 雙渣法 浮溢 High silicon hot metal Double slag method Slopping 國家圖書館 20101200 期刊論文 周文賢(Chou， Wen.....more
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新型多晶矽微機電麥克風之開發與...
感測器 雙層多晶矽製程 微機電 麥克風 電容式 剛性振膜 Sensor Two poly silicon processes MEMS Microphone Capacitive Rigid.....more
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微機電麥克風的技術及市場發展概...
微機電麥克風 矽基麥克風 振膜 背板 MEMS microphone Silicon microphone Membrane Backplate 國家圖書館 20110100 期刊論文 陳弘仁 邱冠.....more
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應用於3D-TSV製程技術之CMP設備...
矽導通孔 化學機械研磨 微機電系統 Through silicon via TSV Chemical mechanical polish CMP Micro electro mechanical.....more
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偏壓電在多孔矽電化學蝕刻之應用...
陽極電化學蝕刻 多孔矽 逆向偏壓 掃瞄式電子顯微鏡 Anodization electrochemistry etching Porous silicon Reversion bias.....more
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以電子迴旋共振電漿化學氣相沉積...
Silicon carbon nitride ECR plasma CVD H atom CH[feb0]NH[feaf] 電子迴旋共振電漿化學氣相沉積 矽碳氮晶體薄膜 國家圖書館 20010800.....more
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太陽光電能電池製造設備發展現況
太陽光電 水平串列式 矽薄膜太陽電池 Photovoltaic PV Horizontal in-line type Silicon thin-film solar cells 國家圖書館.....more
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矽膜再結晶特性光學檢測系統建構...
矽膜再結晶 光學檢測系統 準分子雷射退火技術 低溫多晶矽 Excimer laser annealing ELA Low temperature polycrystalline silicon.....more
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多孔矽製程之微結構及特性分析之...
電化學蝕刻 多孔矽 光激發光 Electrochemical etching Porous silicon Photoluminescence PL 國家圖書館 20070600 期刊論文 林嘉洤.....more
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Low Operating-voltage and High...
(Lee， Hsiu-chih) Low Operating-voltage and High Efficiency Silicon Light Emitting Device Using CMOS.....more
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鋁矽合金矽晶組織之熱化形變特徵...
鋁矽合金 矽晶組織 負載力 擴散 晶界 Al-Si alloy Silicon crystal Load Diffusion Grain boundary 國家圖書館 20060900 期刊論文 戴.....more
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