Elimination of High Density Stacking Faults in CMOS Process
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- 資料識別：
- A99032531
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 貢中元(Kung， C. Y.) 許靜宜(Hsu， C. Y.)
- 主題與關鍵字：
- 疊差 去疵 離子驅入 Stacking faults Gettering Drive-in
- 描述：
- 來源期刊:興大工程學刊
- 卷期:10:3 民88.12
- 頁次:頁73-78
- 日期：
- 19991200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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