微奈米級三維全域表徵動態顯微量測
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- 資料識別：
- A07049646
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳亮嘉 黃耀庭 賴皇文 張中柱 陳生亮
- 主題與關鍵字：
- 頻閃干涉術 微機電裝置 奈米量測 自動化光學量測 共振頻率
- 描述：
- 來源期刊:機械月刊
- 卷期:33:5=382 2007.05[民96.05]
- 頁次:頁28-38
- 日期：
- 20070500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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