鈦底層材料誘發反應性濺鍍鉭基擴散層之相轉變行為
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- 資料識別：
- A99009308
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳松德(Chen， S. T.) 許振聲(Hsu， C. S.) 黃獻慶(Huang， S. C.) 陳慶洪(Chen， E. C.) 陳錦山(Chen， G. S.)
- 主題與關鍵字：
- 鈦底層材料 反應性濺鍍製程 擴散層 相轉變行為 鉭基 Ta Ta-N
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:12:1 民88.05
- 頁次:頁16-25
- 日期：
- 19990500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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