以微波輔助化學氣相沉積法成長多晶鑽石薄膜的成長機制

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資料識別:
A98030557
資料類型:
期刊論文
著作者:
李世鴻(Lee, Shih-fong) 陳正哲(Chen, Jeng-jer) 蕭鴻貴(Hsiao, Hung-kuei) 朱聖緣(Chu, Sheng-yuan) 陳勝利(Chen, Shen-li)
主題與關鍵字:
鑽石薄膜 成長機制 沉積參數 Diamond films Growth mechanism Deposition parameters
描述:
來源期刊:大葉學報
卷期:7:1 民87.12
頁次:頁123-128
日期:
19981200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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