X-Y平檯之次微米精密定位控制研究
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- 資料識別：
- A98025981
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃識忠
- 主題與關鍵字：
- 定位 摩擦力 強健控制 X-Y平檯 Positioning Friction Robust control X-Y table
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:188 民87.11
- 頁次:頁199-210
- 日期：
- 19981100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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