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利用連續熱源式之RTP做金屬退火(Annealing)製程
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後設資料
資料識別:
A97010006
資料類型:
期刊論文
主題與關鍵字:
金屬 退火 Annealing RTP Rapid thermal processor
描述:
來源期刊:電子月刊
卷期:3:5=22 民86.05
頁次:頁126-130
貢獻者:
劉存原
日期:
19970500
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館
授權聯絡窗口
管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305
引用這筆典藏
引用資訊
作者不詳(19970500)。[利用連續熱源式之RTP做金屬退火(Annealing)製程]。《數位典藏與數位學習聯合目錄》。http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/62/a1/8e.html(2017/03/23瀏覽)。
直接連結
http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/62/a1/8e.html
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