高密度電漿源設計製作及其應用在半導體製程之發展情況
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- 資料識別：
- A00029898
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡春鴻 鄭光凱 杜家慶 吳宗學
- 主題與關鍵字：
- 半導體製程 電漿製程
- 描述：
- 來源期刊:科學發展月刊
- 卷期:28:11 民89.11
- 頁次:頁825-835
- 日期：
- 20001100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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