半導體廠超級無塵室的化學污染和"PURATEX"化學空氣過濾器之介紹
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- 資料識別：
- A00028323
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 大西謙之 和田陽 黃寶川
- 主題與關鍵字：
- 半導體廠 超級無塵室 化學污染 化學空氣過濾器 PURATEX
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:6:12=65 民89.12
- 頁次:頁142-147
- 日期：
- 20001200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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