化學機械研磨製程載具膜背壓分佈的影響研究
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- 資料識別：
- A11042506
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林有鎰(Lin， Yeou-yih) 羅仕鵬(Lo， Ship-peng) 陳宗傑(Chen， Tsung-chieh)
- 主題與關鍵字：
- 化學機械研磨製程 背壓 有限元素模式 應力 不平坦度 CMP Partial back pressure FEM Stress Nonuniformity
- 描述：
- 來源期刊:德霖學報
- 卷期:25 2011.06[民100.06]
- 頁次:頁163-170
- 日期：
- 20110600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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