Diamond Film Deposited Directly on Sapphire Substrate by Hot Filament Chemical Vapor Deposition
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- 資料識別：
- A11031086
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡宏營(Tsai， Hung-yin) 劉侑明(Liu， Yu-ming)
- 主題與關鍵字：
- Diamond film Chemical vapor deposition Sapphire 熱燈絲化學氣相沈積法 鑽石薄膜 藍寶石基材
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:32:1 2011.02[民100.02]
- 頁次:頁45-51
- 日期：
- 20110200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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