利用長距離的磁控濺鍍技術於室溫下成長ITO薄膜
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- 資料識別：
- A10007853
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 莊妙如(Chuang， Miao-ju)
- 主題與關鍵字：
- 濺鍍 透明導電膜 X光繞射儀 Sputtering Transparent conductive oxide X-ray diffractometry
- 描述：
- 來源期刊:建國科大學報
- 卷期:29:2 2010.01[民99.01]
- 頁次:頁57-67
- 日期：
- 20100100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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