製作低溫多晶矽薄膜之非晶矽膜脫氫系統開發
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- 資料識別：
- A10044637
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全(Kuo， Chil-chyuan) 張益三(Chang， Yi-san) 陳紀彰(Chen， Ji-zhang)
- 主題與關鍵字：
- 低溫多晶矽薄膜 非晶矽膜 脫氫系統 準分子雷射退火 Low-temperature polycrystalline silicon Amorphous silicon Dehydrogenation system Excimer laser annealing
- 描述：
- 來源期刊:建國科大理工期刊
- 卷期:30:1 2010.10[民99.10]
- 頁次:頁37-53
- 日期：
- 20101000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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