新型感應耦合電漿輔助熱燈絲化學氣相沉積系統開發矽薄膜太陽能電池
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- 資料識別：
- A10021791
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 薛丁仁 蔡綜穎 葉祐名 戴寶通
- 主題與關鍵字：
- 薄膜太陽電池 熱燈絲化學氣相沉積 感應式耦合電漿化學氣相沉積 感應耦合電漿輔助熱燈絲化學氣相沉積
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:16:3=176 2010.03[民99.03]
- 頁次:頁104-113
- 日期：
- 20100300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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