高科技製程變更管理與本質較安全設計之研究--以12吋垂直爐管製程為例
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- 資料識別：
- A10012845
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳俊瑜
- 主題與關鍵字：
- 製程變更管理 本質較安全設計 低壓化學氣相沉積
- 描述：
- 來源期刊:化工技術
- 卷期:18:1=202 2010.01[民99.01]
- 頁次:頁56-67
- 日期：
- 20100100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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