微／奈米級工作平臺之多自由度誤差檢測技術建立[國科會研究計畫編號NSC-92-2212-E-150-001第一年成果報告]
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- 資料識別：
- A07020397
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 覺文郁
- 主題與關鍵字：
- 微奈米級機具 多自由度誤差檢測
- 描述：
- 來源期刊:工程科技通訊
- 卷期:88 民95.10
- 頁次:頁123-125
- 日期：
- 20061000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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