結合微陣列式熱致動器之新型微光學元件抬升結構的探討
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- 資料識別：
- A06091772
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡健忠(Tsai， Chien-chung) 范振豪(Fan， Zhen-hao) 陳仁杰(Chen， Jen-chieh) 林培豪(Lin， Pei-hao)
- 主題與關鍵字：
- 微陣列式熱致動器 牽制式抬升結構 彈簧結構 微面鏡 微光學元件 Micro array thermal actuator Curb structure Spring structure Micro mirror Micro optical devices
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:31 民94.10
- 頁次:頁101-116
- 日期：
- 20051000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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