光學式奈米結構檢測新技術

推薦分享

Share

資源連結

連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)

後設資料

資料識別:
A06074442
資料類型:
期刊論文
著作者:
顧逸霞 劉安順 張中柱
主題與關鍵字:
跨焦取像量測法 關鍵尺寸 量測解析極限制 Through focus metric Critical dimension CD Resolution limit
描述:
來源期刊:機械工業
卷期:279 民95.06
頁次:頁69-75
日期:
20060600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

引用這筆典藏 引用說明

引用資訊
直接連結

評分與驗證

請為這筆數位資源評分

star star star star star

推薦藏品

三合一行動盤點系統之研發
倫敦國家畫廊西歐繪畫的研究
微奈米級三維全域表徵動態顯微量測
在全球化與地化的交錯之中:白先勇、李...
石化工業區廢水處理廠放流水與冷卻水回...
臺灣新文學史(6)--寫實文學與批判...