光學式奈米結構檢測新技術
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A06074442
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 顧逸霞 劉安順 張中柱
- 主題與關鍵字：
- 跨焦取像量測法 關鍵尺寸 量測解析極限制 Through focus metric Critical dimension CD Resolution limit
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:279 民95.06
- 頁次:頁69-75
- 日期：
- 20060600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
