添加聚乙二醇促進電化學平坦化鍍銅晶圓
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- 資料識別：
- A06064541
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡子萱(Tsai， Tzu-hsuan) 蕭資永(Hsiao， Tzy-yeong)
- 主題與關鍵字：
- 電化學拋光 銅製程 平坦化 極化曲線 聚乙二醇 Electrochemical polishing Copper metallization Planarization Polarization curve Polyethylene glycol
- 描述：
- 來源期刊:北台學報
- 卷期:29 民95.03
- 頁次:頁106-115
- 日期：
- 20060300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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