以氮化鋁薄膜製作薄膜體聲波共振器之研究
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- 資料識別：
- A05065134
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 周正賢(Chou， C. H.) 林永振(Lin， Y. C.) 戴念華(Tai， N. H.) 黃金花(Huang， J. H.) 林諭男(Lin， I. N.)
- 主題與關鍵字：
- 氮化鋁 體聲波共振器 c軸優選取向 AIN FBAR C-axis preferred orientation
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:37:2 民94.06
- 頁次:頁105-109
- 日期：
- 20050600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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