A Novel Method for Evaluating the Thickness of Silicon Membrane Using a Micromachined Acoustic Wave Sensor

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資料識別:
A04005231
資料類型:
期刊論文
著作者:
Lee,Chi-yuan Cheng,Ying-chou Wu,Tsung-tsong Chen,Yung-yu Chen,Wen-jong Pao,Shih-yung Chang,Pei-zen Chen,Ping-hei Yen,Kai-hsiang Xiao,Fu-yuan
主題與關鍵字:
MEMS Micromachined acoustic wave sensor SASW
描述:
來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
卷期:7:2 民93.06
頁次:頁61-66
日期:
20040600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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