A Novel Method for Evaluating the Thickness of Silicon Membrane Using a Micromachined Acoustic Wave Sensor
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- 資料識別：
- A04005231
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Lee，Chi-yuan Cheng，Ying-chou Wu，Tsung-tsong Chen，Yung-yu Chen，Wen-jong Pao，Shih-yung Chang，Pei-zen Chen，Ping-hei Yen，Kai-hsiang Xiao，Fu-yuan
- 主題與關鍵字：
- MEMS Micromachined acoustic wave sensor SASW
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:7:2 民93.06
- 頁次:頁61-66
- 日期：
- 20040600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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