低溫多晶矽製程之準分子雷射硬體與檢測技術
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- 資料識別：
- A04040400
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全 鄭正元
- 主題與關鍵字：
- 準分子雷射 低溫多晶矽薄膜電晶體 低溫多晶矽薄膜電晶體平面顯示器 LTPS TFT-LCDs
- 描述：
- 來源期刊:機械技術雜誌
- 卷期:236 民93.10
- 頁次:頁136-148
- 日期：
- 20041000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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