應用奈米壓痕量測技術於薄膜之機械性質量測
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- 資料識別：
- A04030796
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 昝世蓉 顏宏儒
- 主題與關鍵字：
- 奈米壓痕試驗機 奈米薄膜 機械性質 Nanoindentation system Nano thin film Mechanical property
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:213 民93.09
- 頁次:頁165-170
- 日期：
- 20040900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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