簡介紫外光硬化奈米轉印技術
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- 資料識別：
- A04028602
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭瑞庭
- 主題與關鍵字：
- 紫外光硬化奈米轉印 電子束直寫微影技術 熱壓式奈米轉印 多層對準 殘餘光阻 E-beam direct write lithography Hot embossing nanoimprint Multi-level alignment Residual layer UV-curable nanoimprint
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:257 民93.08
- 頁次:頁163-174
- 日期：
- 20040800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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