氮氣流量對氮化鈦/氮化鋁超晶格奈米多層膜基本性質及磨耗行為之影響
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- 資料識別：
- A04027046
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 姚舜暉(Yao， S. H.) 高文顯(Kao， W. H.) 蘇演良(Su， Y. L.) 劉醇鴻(Liu， T. H.) 劉伍健(Liu， W. C.)
- 主題與關鍵字：
- 氮化鈦 氮化鋁 超晶格 奈米多層膜 磨耗 TiN AIN Superlattice Nano-multilayer Wear
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:36:3 民93.09
- 頁次:頁172-178
- 日期：
- 20040900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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