鑽石輪磨及機械化學拋光複合製程應用於藍寶石晶圓薄化加工
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- 資料識別：
- A04020175
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許厲生 古振瑭 陳炤彰 黃姿瑞 柳南煌 謝榮哲
- 主題與關鍵字：
- 發光二極體 藍寶石晶圓 鑽石輪磨 機械化學拋光 Light emitting diode LED Sapphire wafer Diamond grinding Mechano-chemical polishing MCP
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:254 民93.05
- 頁次:頁107-115
- 日期：
- 20040500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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