以溶凝膠靶配合RF磁控濺鍍法製備非晶性IZO薄膜之探討
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- 資料識別：
- A04015468
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳明宗 朱俊隆 盧信冲
- 主題與關鍵字：
- 溶凝膠靶材 RF濺鍍 銦鋅氧化物 透明導電薄膜 PET
- 描述：
- 來源期刊:陶業
- 卷期:23:2 民93.04
- 頁次:頁21-31
- 日期：
- 20040400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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