濕蝕刻矽薄膜厚度即時監控之新穎方法
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- 資料識別：
- A04014289
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李其源(Lee， Chi-yuan) 吳政忠(Wu， Tsung-tsong) 陳永裕(Chen， Yung-yu) 陳文中(Chen， Wen-jong) 鄭英周(Cheng， ying-chou) 鮑世勇(Pao， Shih-yung) 張培仁(Chang， Pei-zen) 陳炳煇(Chen， Ping-hei)
- 主題與關鍵字：
- 表面聲波感測器 濕蝕刻 矽晶片薄膜厚度 微機電系統
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:25:5=139 民93.04
- 頁次:頁82-90
- 日期：
- 20040400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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