微型光學讀取頭之元件
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- 資料識別：
- A04000995
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張育誠(Tseng， Hong-yih) 張正陽(Chi， Sien)
- 主題與關鍵字：
- 微光機電 全像光學元件 費涅爾透境 低應力氮化矽薄膜 Optical MEMS Hologram optical element Fresnel lens Low stress SiN membrane
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:85 民93.03
- 頁次:頁59-65
- 日期：
- 20040300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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