Sol-gel Synthesis and Characterization of Y戓Zr[fec5] O□ Nanopowders for CMP Application
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- 資料識別：
- A03046971
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蘇旺申(Su， W. S.) 涂肇嘉(Tu， G. C.) 蔡明蒔(Tsai， M. S.) 黃銘賢(Huang， M. H.)
- 主題與關鍵字：
- 奈米粉末 釔摻雜氧化鋯 溶膠-凝膠法 化學機械研磨 Nanopowder Yttrium-doped zirconia Sol-gel Chemical mechanical polishing
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:35:4 民92.12
- 頁次:頁250-255
- 日期：
- 20031200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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