淺談電漿蝕刻對低溫複晶矽薄膜電晶體之損傷效應
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- 資料識別：
- A03040901
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張鈞傑 陳志強 莊景桑 葉永輝
- 主題與關鍵字：
- 低溫複晶矽薄膜電晶體 乾式蝕刻 電漿製程傷害 可靠度 Low temperature poly-silicon TFT LTPS TFT Dry etch Plasma process induced damage PPID Reliability
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:202 民92.10
- 頁次:頁162-173
- 日期：
- 20031000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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