DRAM的可靠度技術(3)--金屬導線的可靠度評估方法
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- 資料識別：
- A03026670
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林振華
- 主題與關鍵字：
- 半導體製程 可靠度技術 金屬導線 DRAM
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:9:9=98 民92.09
- 頁次:頁180-182
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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