III-V半導體切割技術探討
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- 資料識別：
- A03024462
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳孟群 陳貴榮 趙崇禮 賴志一 陳志明 譚子陵 江銘通
- 主題與關鍵字：
- 劃線裂片 尖點劃線 砷化鎵 精密定位 Scribe/Break Sharp pointed scribe GaAs Gallium arsenide Precision positioning
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:246 民92.09
- 頁次:頁205-222
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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