300mm晶圓傳送盒氮氣充填最佳化實驗之研究分析
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- 資料識別：
- A03024456
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林鴻忠 胡石政 吳宗明
- 主題與關鍵字：
- 300晶圓傳送盒 氮氣填充 氣態分子狀污染物 Front opening unified pod FOUP Nitrogen purge Airborne molecular contamination AMC
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:246 民92.09
- 頁次:頁137-144
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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