奈米級顯微鏡設備長行程定位系統技術
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- 資料識別：
- A03013573
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉景男
- 主題與關鍵字：
- 掃瞄探針顯微鏡 原子力顯微鏡 雙平臺定位系統 Scanning probe microscope SPM Atomic force microscope AFM Dual-stage positioning system
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:243 民92.06
- 頁次:頁115-121
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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