奈米級長行程定位平臺技術簡介
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- 資料識別：
- A03013570
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 周大鑫
- 主題與關鍵字：
- 奈米 長行程 定位平臺 Nanometer Long stroke Position stage
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:243 民92.06
- 頁次:頁92-100
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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