低溫複晶矽元件與陣列之可靠度
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- 資料識別：
- A03012354
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳志強 張忠恕
- 主題與關鍵字：
- 低溫複晶矽薄膜電晶體 玻璃層次可靠度 靜電傷害 Low temperature poly silicon thin film transistor LTPS TFT Glass-Level reliability Electrostatic discharge damage ESD
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:196 民92.04
- 頁次:頁153-163
- 日期：
- 20030400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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