矽絕緣層(Silicon-on-insulator)元件技術發展--SOI元件技術的現況與未來挑戰
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- 資料識別：
- A02031757
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 葉文冠
- 主題與關鍵字：
- 矽晶圓 矽電晶體 SOI
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:8:10=87 民91.10
- 頁次:頁193-207
- 日期：
- 20021000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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