微機電元件製作技術--提高陽極接合良率的探討
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- 資料識別：
- A02023958
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 龔詩欽 賴怡君
- 主題與關鍵字：
- 微機電元件 晶片接合
- 描述：
- 來源期刊:機械技術雜誌
- 卷期:210 民91.08
- 頁次:頁128-134
- 日期：
- 20020800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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