原子層沉積應用在三族氮化物之生長

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資料識別:
A08002366
資料類型:
期刊論文
著作者:
呂東原(Lyu, Dong-Yuan) 林泰源(Lin, Tai-Yuan) 龔志榮(Gong, Jyh-Rong)
主題與關鍵字:
原子層沉積 三族氮化物 發光二極體
描述:
來源期刊:科儀新知
卷期:29:1=159 2007.08[民96.08]
頁次:頁26-32
日期:
20070800
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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