製作大粒徑低溫多晶矽之雷射再結晶技術
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- 資料識別：
- A08063002
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全
- 主題與關鍵字：
- 大粒徑多晶矽 雷射結晶技術 單晶矽薄膜電晶體 Large grain poly-Si Laser crystallization Single-grain Si TFTs
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:14:6=155 2008.06[民97.06]
- 頁次:頁157-172
- 日期：
- 20080600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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