首頁
部落格
Facebook專頁
ENGLISH
珍藏特展
目錄導覽
技術體驗
成果網站資源
目錄導覽首頁
HOTKEY快速導覽
內容主題
典藏機構
進階搜尋
資源聯盟
首頁
目錄導覽
內容主題
新聞
國圖館藏期刊
首頁
目錄導覽
典藏機構與計畫
國家圖書館
國家圖書館期刊報紙典藏數位化計畫
晶圓旋轉夾盤研究與專利分析
推薦分享
資源連結
連結到原始資料
(您即將開啟新視窗離開本站)
後設資料
資料識別:
A99022594
資料類型:
期刊論文
著作者:
陳宏銘
主題與關鍵字:
旋轉夾盤 單晶圓片 旋轉塗佈 自我清洗 Spin chuck Single wafer Spin coating Self-cleaning
描述:
來源期刊:機械工業
卷期:198 民88.09
頁次:頁177-187
日期:
19990900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館
授權聯絡窗口
管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305
引用這筆典藏
引用資訊
陳宏銘(19990900)。[晶圓旋轉夾盤研究與專利分析]。《數位典藏與數位學習聯合目錄》。http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/64/10/8c.html(2017/03/23瀏覽)。
直接連結
http://catalog.digitalarchives.tw/item/00/64/10/8c.html
評分與驗證
請為這筆數位資源評分
感謝您為這筆數位資源評分,為了讓資料更容易被檢索利用,請選擇和這項數位資源相關的詞彙:
專利分析
晶圓
請填入更適合的關鍵詞
推薦藏品
中國古代飲食名著(上)
人類幹細胞研究的法議題
UVB輻射誘發老鼠角質層細胞株氧化壓...
三相混合式發電系統變頻器之研製
雲煙過眼新錄(1)
常見泌尿系統疾病之中西醫診治